Винтова вакуумна помпа Roots за производство на полупроводници

Винтовата вакуумна помпа Roots съчетава предимствата на помпите Roots и винтовите помпи, предлагайки чисто, ефективно и безмаслено вакуумно решение за взискателни промишлени и лабораторни приложения. С дизайн с уплътнение на междинното пространство и без смазочно масло, тези помпи поддържат висока чистота и изключителна производителност по време на работа.

Принцип на работа на винтовата вакуумна помпа Roots

• Винтова вакуумна помпа (предварителен етап):Функционира като предварителен етап, осигурявайки висока производителност и ниско налягане на изпускането. Механичното компресиране чрез прецизни винтови междини осигурява ефективна, безшумна и безвибрационна работа.
• Вакуумна помпа Roots (основна/междинна):Синхронно въртящи се двойни ротори прехвърлят изпускателните газове от всмукателната към изпускателната камера. Уплътнението на междинните пространства предотвратява замърсяването с масло, поддържайки чиста вакуумна среда.
• Серийна работа:Двете помпи работят последователно, като винтовата помпа подобрява нивото на вакуума, а Roots помпата осигурява стабилна и непрекъсната ефективност на изпомпване.

Предимства на производителността

1. Енергоспестяване:Оптимизираното съотношение между скоростта на изпомпване и степента на вакуум намалява консумацията на енергия, като превъзхожда традиционните вакуумни системи по енергийна ефективност.
2. Висока ефективност:Постига ефективност на изпомпване над 90%, осигурявайки високи нива на вакуум с ниска консумация на енергия за различни процеси.
3. Защита на безопасността:Усъвършенствана система за управление с автоматично стартиране/спиране, защита от претоварване, претоварване по ток и прекъсване на водоснабдяването, осигуряваща дългосрочна стабилност.
4. Компактен дизайн:Вертикалното подреждане или стълбовидна структура минимизира заеманото място, което е идеално за фабрики и лаборатории с ограничено пространство.
5. Гъвкава конфигурация:Регулируемо съотношение на скоростта на изпомпване между помпите (1:2 до 1:8) за адаптиране към различни работни изисквания.
6. Антикорозионни свойства:Повърхностите за преливане са обработени или изработени от устойчиви на корозия материали, подходящи за извличане на корозивни газове и работа в сурови условия.

Области на приложение

• Химическа промишленост:Извличане на летливи органични разтворители, газове и за използване във вакуумни реактори – широко използвани в химически и фармацевтични процеси.
• Производство на полупроводници:Поддържа вакуумно отлагане, почистване и процеси на ецване.
• Хранително-вкусова промишленост:Необходим за процесите на опаковане, дехидратиране и вакуумно сушене на храни.
• Металургична промишленост:Извлича газ в металургични пещи и лаборатории, за да стабилизира процесите на топене.
• Лабораторни и научни изследвания:Идеален за вакуумни експерименти и възстановяване на газ в научни условия.
• Електронна промишленост:Използва се при производството на интегрални схеми, вакуумно покритие на екрани и други процеси в производството на електроника.